真空蒸腾法的原理是：在真空条件下，用蒸腾源加热蒸腾资料，使之蒸腾或升华进入气相，气相粒子流直接射向基片上堆积或结晶构成固态薄膜；由于环境是真空，因而，无论是金属仍是非金属，在这种情况下蒸腾要比常压下容易得多。真空蒸腾镀膜是开展较早的镀膜技能，其特点是：设备相对简单，堆积速率快，膜层纯度高，制膜资料及被镀件资料规模很广，镀膜进程能够完成接连化，使用恰当广泛。按蒸腾源的不同，首要分为：电阻加热蒸腾、电子束蒸腾、电弧蒸腾和激光蒸腾等。

1 电阻加热蒸腾法

电阻加热蒸腾法就是选用钨、钼等高熔点金属，做成恰当形状的蒸腾源，其上装入待蒸腾资料，让电流通过，对蒸腾资料进行直接加热蒸腾，或者把待蒸腾资料放入坩锅中进行间接加热蒸腾。使用电阻加热器加热蒸腾的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用牢靠，可用于熔点不太高的资料的蒸腾镀膜，尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。现在在镀铝制品的生产中仍然很多使用着电阻加热蒸腾的工艺。

电阻加热办法的缺陷是：加热所能达到的 Z 高温度有限，加热器的寿数也较短。近年来，为了进步加热器的寿数，国内外已选用寿数较长的氮化硼组成的导电陶瓷资料作为加热器。

2 电子束蒸腾法

电子束蒸腾法是将蒸腾资料放入水冷铜坩锅中，直接使用电子束加热，使蒸腾资料气化蒸腾后凝结在基板外表构成膜，是真空蒸腾镀膜技能中的一种重要的加热办法和开展方向。电子束蒸腾克服了一般电阻加热蒸腾的许多缺陷，特别合适制造熔点薄膜资料和高纯薄膜资料。

3 激光蒸腾法

选用激光束蒸腾源的蒸镀技能是一种抱负的薄膜制备办法。这是由于激光器是能够安装在真空室之外，这样不光简化了真空室内部的空间布置，减少了加热源的放气，并且还可彻底避免了蒸腾气对被镀资料的污染，达到了膜层纯洁的目的。

此外，激光加热能够达到极高的温度，使用激光束加热能够对某些合金或化合物进行快速蒸腾。这对于保证膜的成分，防止膜的分馏或分化也是极其有用的。激光蒸腾镀的缺陷是制造大功率接连式激光器的成本较高，所以它的使用规模有必定的约束，导致其在工业中的广泛使用有必定的约束。